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mini LED 镭射修复显微镜

1、双工位人体力学设计,提升测试效率。
2、大型龙门式镭射显微镜,自研发软件实现便捷运动控制。
3、支持微距对针,面板点亮测试。
4、气浮式隔振结构,隔离外界振动干扰 。
5、一机同时实现检测与修复功能,提高效率。
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产品介绍


mini LED 镭射修复显微镜,适用于Mini 面板显示行业的研发测试系统,包含尺寸测量、面板点亮,镭射修复等功能 。系统设置双工位(多工位),可同时测试不同样品,提升测试效率 。


产品参数


工作台尺寸(mm)

L680 x W575 (可定制)

工作台数量2
工作台材质玻璃
X-Y-Z行程(mm)XYZ:370x470x150
X-Y轴运动速度(mm)0~200/s可调
Z轴运动速度(mm)0~100/s 可调
调焦行程(mm)150
显微光路三丰APO长焦物镜:
5X/10X/20NIP/50XNIR/100XNUV
激光系统(nm)进口激光器
振荡波长:1064/532/355
最大输出能量 (mj/puls): 1.2/1.2/0.8
可加工材质:Cr/AI/ITO/Ni/TFT/RGB/Poly Silicon/Mo/SiN等
激光器冷却方式:风冷/水冷
像素(um)传感器:2/3“ IMX264 CMOS 传感器,全局快门
像元尺寸:3.45 x3.45
分辨率:2448*2048
颜色:彩色
探针系统三边式探针座支撑台设计,可支持多达12个探针座同时点针测试
探针座XYZ行程:12x12x12mm,线性移动,移动精度<1μm
探针座固定方式:磁吸式
探针夹具:同轴/三同轴夹具
搭配探针类型:直流针,探针卡,射频探针等
电信号测试类型:I-V,C-V,R,脉冲,频率等测试
屏幕点灯机探针数量:45根(可定制)
支持Cell端的点亮测试
操作软件CD-C
设备隔振气浮式隔振
设备外形尺寸(mm)L*W*H 3300*2200*2650

设备总重(kg)

约7200