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YTK-L400/500镭射修复显微镜

1、多种镜体可以选择,如那些利用 YAG ( 近红外、可见、近紫外或紫外 ) 激光 对半导体晶片进行检测和修补。
2、显微镜主件的刚度和总体性能,于之前的型号相比,已有所提高。
3、配有孔径光阑的远心光学系统是表面照明光学系统上的标准配件。最适于需要均匀照明的图像处理,可用于尺寸测量、形状检验、定位等。
4、设计和制造均可根据需求定制,如双摄影机架、双 ( 低 / 高 ) 放大率观察。
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产品介绍


镭射修复显微镜,应用于切割、修整、校正、 给半导体电路做标记 / 薄膜 ( 绝缘膜 ) 清洁与加工、液晶彩色滤光器的修复 ( 校正错误 ) ;还可用作光学观察剖面图以 便探头分析半导体故障。


晶体硅的内部观察、红外光谱特征分析等。


紧凑轻量型的镭射显微镜,是相机观察专用型,适于检测液晶面板、金属表面、半导体、树脂等。


镭射规格参数


激光

振荡波长(nm)

1064

532

最大输出能量
(mJ/puls)

5

4

最大峰值功率(MW)

0.7

0.6

脉冲宽度(纳秒)

8-6

反复振荡频率(Hz)

[HSL-40001I 1~6Hz

角型铁缝

电动XY /最大3毫米

输出变量(%)

0-100%(512段階)

最小加工直径(使用100倍镜头时)  (μm)

21

最大工作直径(使用10倍镜头时)(μm)

300

控制箱

功能

波长切换/重复频率设置/拍摄数量设置/滚轮式可变输出机构/游戏杆式缝算可变机构/衰
减滤波器/激光发射按钮/处理条件记忆(最多4个条件)/指示灯控制显示/错误显示/紧
急停止按钮/钥匙开关

电源

接口

RS-232C

 

电压

AC100V单相(接地) 7.5 A

外部

激光头(MM)

120(W)×335(H)x148(D)

控制盒(毫米)

230(W)x105(H)×185(D)

激光电源(MM)

350W×145(H) x4.20(D)

冷水机组(mm)

350(W)×173(H) ×356(D)

照明光源(mm)

76(W)×120(H)×235(D)

电缆长度

激光头电缆、控制陌电缆、空冷冷却软管(它附属于HSL-40001I系列)、水冷冷却管(它附属于HSL-500011I系列)、交流电缆:角3m((除3米以外的选项可选)

冷却器控制电缆(它附属于HSL-5000系列):1m、导光线:2.7m


平台参


项目

内容

平台参数

1.行程:X-400*Y-300*Z-150mmX-500*y-400*Z-150mm
2.桥式结构
3.SLIDE: LM GUIDE
4.有效载荷:15kg
5.acculacy:3+(L/200)um
6.透射照明:LED 3V
7.移动轴:X/Y/Z轴自动,X/Y/Z轴速度可切换
8.精密型导轨、滑块、丝杆

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