产品介绍：
该设备主要应用于L CD 、PDP 、PCB等相关光电产业，为 其研发、品质 管控与不良分析提供必需检测的设备。此设备是对PI预烘烤后的基板进行检查，检查MUR A ，点状等宏观不良，同时可以实现对PI膜印刷精度测量的设备。
该设备的测量软件高度集成了测量、缺 陷分析， 多轴运动速度控制，以及光学系统调节功能(光源调节、自动倍率调节、自动对焦调节等功能) ， 与同行业软件相比具有高度集成、自 动控制、人性化操作等方面的优势。
产品参数：
| 运动行程 (mm) | X:1100 Y:1500 (电动） |
| 调焦行程 (mm) | Z轴150(电动） |
| 主显微镜系统 | 三目头 目镜：10倍 物镜：2.5X、5X（BD）、10X（BD）、 20X（BD）、50X（BD） 观察模式：反射 、透射 、偏光 、 明场 、暗场 、DIC 5孔电动物镜转换镜 |
| 示值误差(um) | 视场外精度 X/Y小于等于(3+L/200) , Z小于等于(5+L/200) |
照明系统 | 观察显微镜：卤素表面光及LED光 |
| 操作台 | 功能：启动/急停/摇杆操作/速度调整/ 破真空/吸附/局部吸附/ 亮度调节/三轴微调 |
| 驱动系统 | X/Y龙门直线电机双驱 ，Z轴伺服电机驱动 |
外形尺寸 (mm) 长X宽X高 | 2510*2210*3400 |
| 仪器重量 (kg) | 4500 |
| 玻璃台承重(kg) | 20 |
| 仪器电源 | 220V(AC) 5OHZ |
| 运行高度 ( mm ) | 1000 |
测量软体 | 完整的画面实时二维量测/自动保存图片/ 录像功能/实时坐标定位/指定的Folder和Server上保存Image支持多款控制器/ 支持多款工业相机/图像扫描拼接 |
