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产品介绍
该设备主要用于半导体硅晶片检测、LCD液晶屏检测、实验室材料分析及其他精密工程检测领域。
可对样品进行明场、暗场、偏光以及微分干涉观察。光源可选卤素灯、光纤照明，配电动物镜转换器。
技术参数：
| 工作台尺寸 | 820*760 | 1060*1000 | 1360*1000 |
| 玻璃台尺寸（mm） | 528*428 | 728*628 | 928*628 |
运动行程（mm） | X:508 Y:408 | X:708 Y:608 | X:900 Y:600 |
调焦行程（mm） | Z:150 | Z:100 | Z:100 |
显微镜系统 | 三目观察筒 目镜：10倍 物镜：2.5X、5X（BD）、10X（BD）、20X（BD）、50X（CR） 观察模式：反射，透射，偏光，明场，暗场，DIC 5孔电动物镜转换器 | ||
示值误差（um） | 视场内：2μm；视场外精度X/Y≤（3+L/200），Z≤（5+L/200） | ||
照明系统 | 卤素灯及LED光 | ||
| CCD | 500W像素 | ||
| 外形尺寸（mm）长X宽X高 | 1760*2180*1850 | ||
| 仪器重量（kg） | 2300 | ||
| 玻璃台承重（kg） | 30 | 50 | 50 |
| 电源 | 220V±10% | ||
| 测量软件 | 完整的画面实时二维量测 自动保存图片 录像功能 实时坐标定位 指定的Folder和Server上保存Image 支持多款控制器 支持多款工业相机 图像扫描拼接 | ||
