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全自动超大型直线双驱测量显微镜

1、符合人机工程学设计准则方便操作测量。
2、可实现Z轴自动对焦。
3、具有偏光和DIC检测功能。
4、采用主动式减震装置,提高整机精度稳定性。
5、 自主开发INS系列软件,高清彩色摄像机。
6、同轴光/底光测量。
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  • 产品简介


产品介绍:


该光学显微镜检查设备主要应用于LCD、PDP、PCB等相关光电产业,为其研发、品质管控与不良分析提供必需的检测设备。可对应观察OLB压接粒子分布、液晶LCD面板Pattern异物/划伤等不良,以及导电粒子粒径测量等功能。


该产品的测量软件高度集成了测量、缺陷分析,多轴运动速度控制,以及光学系统调节功能(光源调节、倍率调节、焦距自动调节等功能),与同行业软件相比具有高度集成、自动控制、人性化操作等方面的优势。


特色:


1、采用Nikon或者Olympus高解析度光学系统。


2、强大的点、线、弧量测功能。


3、清晰逼真的观测效果。


4、龙门式结构设计。


5、花岗岩基座平台。


6、可依据客户要求设计。


技术参数:


工作台尺寸(mm)2800*1900
玻璃台尺寸(mm)2600*1700
运动行程(mm)X:2500  Y:1600(电动)
调焦行程(mm)Z轴100mm(电动)
主显微镜系统(Nikon or Olympus)

三目头

目镜:10倍

物镜:2.5X、5X(BD)、10X(BD)、20X(BD)、50X(BD)观察模式:反射,透射,偏光,明场,暗场,DIC

5孔电动物镜转换镜

侧显系统

单筒镜头:美国NAVITAR无穷远同轴光镜头

变倍范围:0.7X-4.5X

金相物镜:三丰APO长工作距离金相物镜(选配)

倍率:10X

工作距离:33.5mm(加装金相物镜后)

景深:3.5um

Min Focus Step: 0.3um

激光安全防撞

示值误差(视场内)mm视场外精度X.Y小于等于(3+L/200)um,Z小于等于(5+L/200)um
照明系统卤素灯表面光及轮廓光
操作台

定制型操作台 

功能: 启动/急停/摇杆操作/速度调整/电脑开关/破真空/倍率切换/三轴微调/电动偏光/电动DIC

驱动系统X/Y龙门直线电机双驱,Z轴伺服电机驱动
工业相机

传感器类型: CMOS,全局快门

传感器型号: IMX264

像元尺寸: 3.45 µm × 3.45 µm

靶面尺寸: 2/3”

分辨率: 2448 × 2048

帧率:23.27 fps

动态范围: 72 dB

信噪比: 40.2 dB

黑白/彩色: 彩色

外形尺寸(mm)

长X宽X高

4500*2500*1500
仪器重量(KG)8300
玻璃台承重20KG
仪器电源220V(AC) 50HZ ,125W
Passline(mm)950
测量软体

完整的画面实时二维量测

自动保存图片

录像功能

实时坐标定位

指定的Folder和Server上保存Image

支持多款控制器

支持多款工业相机

图像扫描拼接