产品介绍：
此设备主要应用于OLED行业，为其研发 、品质管控与不良分析提供数据的检测设备。此设备是对OLED蒸镀后的产品进行在线检查，检查蒸镀偏位、像素异物、划伤等不良。
该产品的测量软件高度集成了测量、缺 陷分析、MS对接、PL C对位控制、多轴运动速度控制，以及光学系统调节功能(光源调节、倍率调节、焦距自动调节等功能) ，与同行业软件相比具有高度集成、自动控制、人性化操作等方面的优势。
产品参数：
运动行程 (mm) | X:1100 Y:1500 (电动） |
调焦行程 (mm) | Z轴150m m(电动） |
主显微镜系统 | 三目观察筒 |
示值误差（um）
| 视场外精度 X/Y≤（(5+L/ 200)μm； |
照明系统 | 观察显微镜：汞灯/卤素/LED 表面光 |
操作台 | 功能：启动/急停/摇杆操作/速度调整/ 电脑制开关/破真空/吸附/局部吸附/ 亮度调节/倍率切换/三轴微调 |
驱动系统 | X/Y龙门直线电机双驱 ，Z轴伺服电机驱动 |
外形尺寸 (mm) 长X宽X高 | 3160*4130*3400 |
仪器重量 (kg) | 13000 |
玻璃台承重(kg) | 2.5 |
仪器电源 | 220V(AC)±10% 50HZ |
运行高度 ( mm ) | 1000 |
测量软体 | 完整的画面实时二维量测自动保存图片自动上传数据/主线MS对接实时坐标定位/支持多款控制器支持多款工业相机 |
