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在线荧光检测显微镜

1、在线OLED产品不良荧光检测; 
2、自动上下料、自动识别、自动检测; 
3、不良图片和数据自动上传到客户端系统; 高精度运动载台; 
4、采用尼康荧光系统; 
5、动态对焦技术; 广角监控 CCD; 
6、可检测项目:蒸镀偏移、异物、划伤不良等。
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  • 产品简介

产品介绍:


此设备主要应用于OLED行业,为其研发 、品质管控与不良分析提供数据的检测设备。此设备是对OLED蒸镀后的产品进行在线检查,检查蒸镀偏位、像素异物、划伤等不良。


该产品的测量软件高度集成了测量、缺 陷分析、MS对接、PL C对位控制、多轴运动速度控制,以及光学系统调节功能(光源调节、倍率调节、焦距自动调节等功能) ,与同行业软件相比具有高度集成、自动控制、人性化操作等方面的优势。


产品参数:


运动行程 (mm)

X:1100 Y:1500 (电动)

调焦行程 (mm)

Z轴150m m(电动)

主显微镜系统

三目观察筒
目镜:10倍
物镜:2.5X、5X(BD)、10X(BD)、 20X(BD)、50X(BD)、100X(BD)
观察模式 :反射、透射、荧光、偏光、明场、暗场、DIC5/6孔电动物镜转换器
荧光系统:波段可选

示值误差(um)

 

视场外精度 X/Y≤((5+L/ 200)μm;
Z≤(6+L / 200)μm

照明系统

观察显微镜:汞灯/卤素/LED 表面光

操作台

功能:启动/急停/摇杆操作/速度调整/ 电脑制开关/破真空/吸附/局部吸附/ 亮度调节/倍率切换/三轴微调

驱动系统

X/Y龙门直线电机双驱 ,Z轴伺服电机驱动

外形尺寸 (mm) 长X宽X高

3160*4130*3400

仪器重量 (kg)

13000

玻璃台承重(kg)

2.5

仪器电源

220V(AC)±10% 50HZ

运行高度 ( mm )

1000

测量软体

完整的画面实时二维量测自动保存图片自动上传数据/主线MS对接实时坐标定位/支持多款控制器支持多款工业相机