产品介绍
硅基显示镭射修复多功能探针台，适用于面板显示行业研发测试系统，包含尺寸测量、镭射修复，面板点亮，电信号测试等多种功能 于一体。系统可以设置双工位或多工位，可同时测试不同样品，提升测试效率 。
产品参数：
工作台尺寸(mm) | L680 x W575 (可定制) |
| 工作台数量 | 2 |
| 工作台材质 | 玻璃 |
| X-Y-Z行程(mm) | XYZ：370x470x150 |
| X-Y轴运动速度(mm) | 0~200/s可调 |
| Z轴运动速度(mm) | 0~100/s 可调 |
| 调焦行程(mm) | 150 |
| 显微光路 | 三丰APO长焦物镜： 5X/10X/20NIP/50XNIR/100XNUV |
| 激光系统(nm) | 进口激光器 振荡波长:1064/532/355 最大输出能量 (mj/puls): 1.2/1.2/0.8 可加工材质：Cr/AI/ITO/Ni/TFT/RGB/Poly Silicon/Mo/SiN等 激光器冷却方式：风冷/水冷 |
| 像素(um) | 传感器：2/3“ IMX264 CMOS 传感器，全局快门 像元尺寸：3.45 x3.45 分辨率：2448*2048 颜色：彩色 |
| 探针系统 | 三边式探针座支撑台设计，可支持多达12个探针座同时点针测试 探针座XYZ行程：12x12x12mm，线性移动，移动精度＜1μm 探针座固定方式：磁吸式 探针夹具：同轴/三同轴夹具 搭配探针类型：直流针，探针卡，射频探针等 电信号测试类型：I-V,C-V,R,脉冲，频率等测试 |
| 屏幕点灯机 | 探针数量：45根(可定制) 支持Cell端的点亮测试 |
| 操作软件 | CD-C |
| 设备隔振 | 气浮式隔振 |
| 设备外形尺寸(mm) | L*W*H 3300*2200*2650 |
设备总重(kg) | 约7200 |
