产品介绍：
面板多腔室探针台，适用于1~20inch TFT- LCD,Mini/Micro LED等显示面板可靠性电性检测，集合温度 、光源 、显微镜 、探针等多种系统为待测面板提供各种检测条件，配合测试机可做 IV，CV,脉冲，高功率，击穿电压等等电性可靠性测试，支持多样品同时测试 。
产品参数：
Chamber
| 腔室数量 | 4~12腔室可选（可定制） |
腔体尺寸 | 472mm(W)*495MM(D) | |
漏电+噪声 | Pin noise+Leakage (Cable&Probe Card type for Probe unit) | |
显微镜
| 显微镜粗调X轴行程 | 2508mm (8 Chamber) |
显微镜微调XYZ轴行程 | 50mm*50mm*50mm | |
显微镜调焦 | 0.7~4.5X连续自动变倍 | |
显微镜物镜 | APO Plan 10X 20X | |
导轨 | XYZ 导轨 | THK高精度线性滑轨 |
光源 | 顶光源亮度 | White 100~200000 nit / 多波段光源 |
底光源亮度 | White 100~200000 nit / 多波段光源 | |
温度系统 | Hot&Cold Chuck | -30℃~130℃ |
| 气浮式减振 | |
| 底座 | 大理石平台 | |
Probe | 探针座 | X-Y-Z行程 |
Probe type | Probe Card /RF Probe/ Kelvin Probe/I-V Probe | |
可测试类型 | I-V,C-V,R,RF,脉冲，频率， 击穿电压等 | |
操作软件 | CD-P | |
系统保护 | 腔室带安全防护锁，防止测试被干扰，保证测试人员安全 | |
供电电源 | 220V土10% 50/60Hz | |
