产品特性

1、单筒显微镜  

组合式搭配设计，0.7-4.5倍光学放大，高分辨率、 高对比度成像； 连续自动变倍 重复定位精度可达2um ，变倍过程顺畅平稳，中心偏移量极小；适用于高反射产品，如：玻璃、晶圆。

2、白光源 

100~20000 nit 随意可调 均匀性：≤95% 。底光源采用多波段LED光源

3、大样品台，台面尺寸500mm*300mm ，平整度150um。

4、探针卡支持分开独立运动控制，方便针卡点针对位

5、样品真空吸附分区控制， 根据需要选择吸附区域。

6、V3 

高精密测试探针座

专用于IV/CV探测和失效分析

7、 超高精度丝杆传动、高精度交叉滚柱导轨、定位精准。

关键参数 

规格尺寸：≤长2100mm*宽1500mm*高2100mm 

Worktable尺寸：长500mm*宽300mm 

X-Y-Z移动精度±2um 运动行程:650mm*400mm*200mm 

雷尼绍光姗尺精度0.1um 

探针对位和接触精度： X/Y/Z≤±1um 

顶光源规格 Size:φ10mm,亮度100~20000nit 

顶光源类型LED光源，White Light 白光 

底光源规格 Size:φ5mm, 

底光源类型LED光源（400nm/450nm/500nm/ 

550nm/600nm/650nm/700nm/880nm） 

Φ30mm chuck 温度范围：-20℃~120℃ 控温精度：±2℃ 

探针座 8PCS，X-Y-Z轴行程：12mm*12mm*12mm 

精度： 0.3um     三同轴探针夹具，针尖直径可选 

气浮隔振动，大理石平台 

总重约:4.5t

设备基本参数